真空等离子处理，真空等离子清洗机 SPV-150 技术规格,等离子清洗机的结构主要分为五大部分组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。

（实际外观以出厂的为准）

（1）产品简述

（1.1）等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是：

（A）对材料表面的刻蚀作用--物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但

清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细

坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

（B）激活键能，交联作用

等离子体中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的键能在 0~10eV，因此等离子体作

用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键

形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能团--化学作用

如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的

官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

（1.2）产品原理

等离子清洗机的结构主要分为五大部分组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气

体系统、以及真空泵系统。

（A） 控制系统：

控制系统：触摸屏+PLC

（B） 激励电源系统：

电源：13.56MHz 的射频激励电源，

（C） 真空腔体：

铝合金腔体，

（D） 工艺气体系统：

工艺气体：氩氢混合气

（E） 真空泵：油泵主要采用双级旋片油泵

（2.1）技术参数

（2.2）配置清单

（3）安装、调试、保养

（3.1）.装卸要求：需提供插车；

（3.2）安装环境要求：

A.三相 380V 的，五线（三根火线、一根零线、一根地线）供电电源，功率 5000W,4 平方线；

B.气体，氩氢混合气；

C.无水无油的压缩空气。

（3.3）安装及调试过程需协助；如提供测试样品及测试要求等。

（3.4）效果验证：采用接触角测试，对处理后的样品进行量化评估，确保效果

和均匀性及稳定性。

（3.5）保养：

A.为了更好的延续设备的使用寿命，我们的真空设备需要定期保养,保养周

期：3 个月。

B.保养明细：

真空等离子设备保养表

（4）耗材清单