等离子体又名电浆 ，英文为PLASMA ，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体，其运动主要受电磁力支配，并表现出显著的集体行为。属于一种很好的导电体，且被视为物质存在的第四态。

等离子清洗机(plasma cleaner)，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、自由基、光子以及其他中性粒子组成。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、刻蚀、涂覆等目的。