等离子清洗机是一种常用于表面处理的设备，它利用等离子体与物质表面的相互作用来清除污染物、氧化物等，从而提高表面的清洁度和反应性。等离子清洗机常用的气体包括氮气、氩气、氢气、氧气、二氧化碳、四氟化碳等，选用的气体不同，其效果也会有所不同。

一、氧气（O₂）：等离子使用氧气时，可以发生氧化反应，使表面活化，从而去除有机污染物和聚合物的表面活化。

二、氢气（H₂）：氢气具有还原性，可以对金属表面的氧化层进行处理，适用于精密制造领域。

三、氩气（Ar）：氩气属于惰性气体，等离子使用氩气时，能够对材料表面发生物理反应，清洁和粗化表面，且不会对基材产生氧化反应，适用于精密金属元件处理。

四：四氟化碳（CF₄）：四氟化碳在电离之后的等离子体含有氢氟酸，是一种能够用于刻蚀和有机物去除的腐蚀性气体，能够对线路板的微孔进行除胶处理或者一些精密材料的纳米级刻蚀。

等离子清洗机的气体选择取决于特定的需求和材料类型，不同的材料选择的气体是不一样的，根据多次测试结合自身情况选择合适的气体。