等离子清洗机常用的气体包括氧气、氢气、氮气和氩气。

氧气：等离子清洗机使用氧气时，通过电离产生离子体，可对材料表面进行物理轰击，形成粗糙的表面，同时高活性的氧离子可与断键后的分子链发生化学反应，形成活性基团的亲水表面，达到表面活化的目的。

氢气：氢气具有还原性，可以用于去除金属表面的微氧化层，同时不会损坏表面敏感的有机层。

氮气：氮气电离形成的等离子体可以与一些分子结构发生关键反应，因此它也是一种活性气体，但与氧气和氢气相比，它的粒子相对较重。

氩气：氩气属于惰性气体，等离子清洗使用氩气时，能够对材料表面发生物理反应，清洁和粗化表面，且不会对基材产生氧化反应，适用于精密金属元件处理。

具体使用哪种气体要根据清洗的用途和实际情况来决定。