达因特等离子清洗机-针对LED表面处理及解决方案，测试的玻璃表面涂抹的胶水，但是不会影响Mini LED这种精密的产品，Mini LED表面各个位置的环氧树脂厚度还是很均匀的。

LED的技术要求：

顾名思义，“Mini”中文名称就是“迷你”的意思。如果说小顾名思义，“Mini”中文名称就是“迷你”的意思。如果说小间距LED显示屏重在点间距之间的“小”，那么Mini LED自然就是达到更小的级别，堪称迷你这一级别了。如果我们追本溯源，将会发现Mini LED这个单词，首先源自于晶电，目前晶电透露出来最新的有关Mini LED的消息，正是它的“可量产”进程。

Mini LED是在小间距LED基础上，衍生出来的一种新型LED显示Mini LED是在小间距LED基础上，衍生出来的一种新型LED显示技术，也被称为亚毫米发光二极管，芯片尺寸介于50~200μm之间的LED器件。

LED显示屏的技术要求：

Mini LED克服正装芯片的打线及可靠性的缺陷，Mini LED克服正装芯片的打线及可靠性的缺陷，同时结合COB封装的优势，使显示屏点间距进一步缩小成为可能，对应的终端产品的视觉效果大幅提升，同时视距能够大幅减小，使得户内显示屏能够进一步取代原有的LCD市场。

真空等离子原理介绍：

怎么产生等离子：

当我们把固体冰加热时会融化成液体水，水加热会变成水蒸当我们把固体冰加热时会融化成液体水，水加热会变成水蒸气，气体加热到一定温度或高压电离时就会变为等离子体。

等离子产生原理：

电子离开原子核，物质就变成了由带正电的原子核和带负电的电子组成的、一团均匀的“浆糊”，这些离子浆中正负电荷总量相等，因此它是近似电中性的，所以就叫等离子体。等离子表面处理是通过对气体施加足够的能量使之离化成为等离子体，通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、刻蚀等目的。

达因特等离子解决方案：

考虑因素一：在真等离子除胶蚀刻中，温度对蚀刻考虑因素一：在真等离子除胶蚀刻中，温度对蚀刻效率，起到非常关键的作用，所以腔体内材料要耐高温。考虑因素二：不同厂家的Mini LED，因为工艺不同，耐高温程度不一样，所以腔体可应用通水冷，循环水达到控温的功能。考虑因素三：在真空等离子除胶蚀刻的过程中，用到的工艺气体，有氧气、氮气、少量的四氟化碳，其中氧气，四氟化碳的化学性质，具有氧化性和腐蚀性，所以腔体材料也要耐氧化，耐腐蚀。考虑因素四：Mini LED属于非常精密的产品，所以对处理效果的均匀性要求也是非常高，通过多方面的测试验证，结合以往实践经验，设计出一款针对除胶行业，放电均匀性非常高的真空等离子设备。

真空等离子对环氧树脂起到的作用：

真空等离子在通入氧气和氮气再加少真空等离子在通入氧气和氮气再加少量的四氯化碳，在放电情况下，能快速的蚀刻掉环氧树脂。三.真空等离子会不会彻底破坏环氧树脂？因为Mini LED间隙和Mini LED表面，环氧树脂有厚度差，所以真空等离子，会优先蚀刻Mini LED芯片表面上的环氧树脂。使Mini LED发光更亮，增加清晰度。

1.在四层电极板，分别放置在三个位1.在四层电极板，分别放置在三个位置上，一共测试12组数据，进行整理分析。2.从图表可看出，蚀刻速率最大的是200A/S，蚀刻速率最小为173A/S，两者之间相差27A/S。差距不明显，相对总体数据，还是很均匀的。原因分析：测试的玻璃表面涂抹的胶水，是人工涂抹，每片之间厚度很难保持一致，玻璃表面涂抹的胶水也是不平整的，这些都会造成数据的偏差。但是不会影响Mini LED这种精密的产品，Mini LED表面各个位置的环氧树脂厚度还是很均匀的。