等离子清洗机处理粉体材料，可以处理各种形状的样品 对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。 真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。
真空等离子清洗机 SPV60 技术规格书（滚轮式腔体方案）
真空等离子清洗的优势
等离子清洗作为重要的材料表面改性方法，已经在众多领域广泛使用。 与传统的一些清洗方法，如超声波清洗、UV 清洗等，具有以下优点：
（A）处理温度低
处理温度可以低至 80℃、50℃以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。
（B）处理全程无污染
等离子清洗机本身是很环保的设备，不产生任何污染，处理过程也不产生任何污染。
（C）处理效果稳定
等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。
（D）可以处理各种形状的样品 对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。 真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。
等离子清洗机的结构主要分为四大部分组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。
（A）控制系统： 控制系统的功能在于控制整个设备的运行，包括人机界面（触摸屏）、PLC、电气电路。采 用全自动控制系统的真空等离子清洗，可实现多种模式多种程序对清洗设备进行控制，满足 不同客户的需求。
（B）激励电源系统：
激励电源主要有三类：40KHz 的中频激励电源，13.56MHz 的射频激励电源，2.45GHz 的 微波激励电源。目前业界主要采用的是射频激励电源和中频激励电源。各自应用场合不同。
（C）真空腔体： 真空腔体主要是分为三种材质的：1）铝合金腔体，2）不锈钢真空腔体，3）石英腔体。根 据用户的不同需求，可实现不同的放电模式和适用不同的样品尺寸和产能。
工艺气体包括流量计、气压阀等，用户可灵活选择多路的工艺气体方案，氩气、氧气、氢气、
氮气、四氟化碳等，可满足不同工艺方案要求。清洗各种产品表面。
（E）真空泵： 真空泵分为油泵、干泵、罗茨泵，油泵主要采用双级旋片泵，根据用户所采用的腔体体积、 工作效率、环境要求来制定真空泵的方案。
滚轮式腔体技术参数
电源系统 | 定制射频电源：频率 13.56MHz；功率 0~500W 可调； 全自动真空电容匹配器 |
真空系统 | 定制双级旋片泵（油泵）：60m3/h， 真空计：日本英福康皮拉尼真空计 真空管路：全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
腔体系统 （定制） | 铝合金真空腔体，军工级焊接密封，25mm 厚度 滚筒为不锈钢材质 腔体内部尺寸：375mm（宽）×375mm（高）×425mm（深）， 即 60L 滚筒尺寸：297mm（直径）×350mm（高），即 48L |
气体系统 | 气压阀，日本 SMC 流量计，七星华创品牌，0~300SCCM 两路工艺气体：氩气、氧气 |
控制系统 | PLC，德国西门子 S 系列 触摸屏，威纶通，七寸屏幕 电气部件：德国施耐德品牌 |
其它参数 | 外形尺寸：790mm（宽）×1639mm（高）×894mm（深） 重量：400KG 颜色：银灰色 |
滚轮式腔体尺寸参数
