等离子体是物质的第四态，是一种用于处理和修饰表面的独特的处理介质。等离子表面处理工艺独特的优点，其与表面的相互作用的特性和可应用的工艺气体的范围如下。

1、等离子体物理学

等离子体是什么，它是如何产生和维持的，以及它是如何与物质表面相互作用的基础。

2、等离子体优势

等离子表面处理对表面本身的优势，工艺的灵活性和一致性，低成本，易用性，以及用户和环境安全。

3、等离子体表面相互作用

取决于所使用的工艺气体和材料类型，可能发生不同的等离子体表面相互作用。

4、等离子体工艺气体

不同的等离子体处理气体可用于化学和机械污染物去除、氧化、活化、交联和沉积。

达因特等离子表面处理仪性质：

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

等离子体形成：

通过使用电容板或通过磁感应，在气体区域中产生RF振荡电场。

在足够低的压力下，电子的电场加速和电子与中性原子或场线的弹性散射的联合效应导致电子的加热。

当电子在中性气体物种中获得超过第一电离阈的动能时，电子中性碰撞导致进一步电离，产生依次被加热的附加自由电子。

等离子体表面相互作用：

等离子体电子和离子的能量足以电离中性原子，将分子分开，形成反应性自由基，在原子或分子中产生激发态，并局部加热表面。

依赖于过程气体和参数，等离子体可以通过机械作用，通过电子和离子与表面的动态转移的烧蚀效应，以及化学反应功，通过反应自由基与表面的相互作用。

一般来说，等离子体可以通过几种机制相互作用和修饰一个表面：烧蚀、活化、沉积、交联和接枝-见等离子体表面相互作用。

等离子体优势：

表面相互作用：等离子体处理仅影响材料的近表面；它不会改变块状材料性质。等离子清洗不留下有机残留物，不像许多湿式清洗过程；在适当的条件下，它可以实现完全的污染物去除，从而产生“原子清洁”的表面。与水性清洗溶液不同，等离子体没有表面张力限制，它可以清洁粗糙的、多孔的或不平坦的表面。等离子体处理发生在近环境温度下，降低对热敏材料损坏的风险。

过程灵活性与一致性，根据工艺气体和使用配置，等离子体处理可用于表面特性的清洗、活化、灭菌和一般改变。等离子体将与各种各样的材料反应；因此，等离子体也可以处理由不同材料制成的组件。

等离子清洗可处理复杂几何形状的三维零件

低成本/易用性

等离子体处理效率高，处理时间短，无干燥阶段，能耗少。

等离子体处理有助于避免由于热或溶剂损坏而导致的工艺损失。

等离子体处理比化学或机械加工更容易使用和维护；此外，它不需要复杂的化学分析或维护。

等离子体处理经常消除溶剂的需要，以及它们的持续购买和处理成本。

通过操作等离子处理，提高用户与环境安全

1、等离子体处理消除工人接触危险化学品的安全风险

2、等离子体处理包含在真空室内，很少或没有直接工人暴露。

3、等离子体处理在接近环境温度的情况下，不暴露的风险。